MKS MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜  分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分 析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故  省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡便，易于維護。

MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由傅利葉變換紅外光譜分析儀2102傅利葉變換紅外制成分光計，高光通量  取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas側(cè) 6030收集高分辨率的紅外光 譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

MKS 傅利葉變換紅外光譜分析儀特點和優(yōu)點

10ppb-100靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

易于移動從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

同時分析和顯示多達30種氣體

分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本

取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

保護的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

頻率和分辨率診斷，確保校準恒定

提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

MKS 傅利葉變換紅外光譜分析儀應(yīng)用：

煙囪監(jiān)測器

工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

空氣環(huán)境分析

氣體純度分析

燃燒排放監(jiān)測

選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

光譜分析

Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件，它能同時分析和報道許多混合物的濃度，這個能在個人電腦上運行的軟件，能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一秒內(nèi)完成，進行瞬時分析。

整個數(shù)據(jù)整理過程中，MultiGas軟件一邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡單和真實。當解決了所有被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的”光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零點設(shè)定進行再工藝。

對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計，2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中快速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對高溫，振動和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是標準的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個分光計連接到一個小體積(200mL)多變換，有5.11米有效通道的氣室，這個氣室的設(shè)計結(jié)合了非球面的，非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學吞吐量。做為選擇，一個單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強吸收率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

儀器的自主校準

MultiGas的軟件有多點校準圖，能提供一個動態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級.許多核數(shù)的校準都由其提供，另外，用戶也可以通過已知的濃度來進行校準。MultiGas軟件檢驗每個工具的性能的效用，使它能把一個已經(jīng)在一臺機器上校準的的值用于其他任何一臺機器上，而且不用變更。